在半导体制造、生物医药、真空包装等工业领域，真空泵是保障工艺稳定性的关键设备。
在半导体制造、生物医药、真空包装等工业领域，真空泵是保障工艺稳定性的关键设备。真空压力的微小波动，可直接关系到产品的良率、甚至发生生产事故。威卡 ACC-6200 系列压力变送器，凭借卓越的性能与可靠的长期稳定性，成为国内某标杆真空泵厂家标配的压力检测产品。
陶瓷厚膜技术，应对真空工况挑战
威卡 ACC-6200 系列压力变送器
真空泵系统长期处于负压、交变载荷工况，对传感器的抗疲劳性与零点稳定性要求极高。ACC-6200 采用陶瓷厚膜传感元件，在真空泵频繁启停的负压循环中，依然保持高精度测量。
在某知名干式真空泵制造商，其真空泵用于半导体吹扫工艺段，工况粉尘大、启停频繁。之前用的其他品牌传感器 3 个月就出现精度超差，换成 ACC-6200 后，连续运行近2年零故障，监测数据始终稳定可靠。
特殊密封结构，适配复杂介质环境
真空泵系统常伴随油雾、水汽等复杂介质，普通传感器容易因介质侵入导致密封失效。ACC-6200 采用特殊密封结构，可与各类真空泵油、介质等长期兼容。
紧凑设计，批量配套首选
ACC-6200 的紧凑型机身设计，可直接集成于真空泵本体或真空管路中，节约安装空间。标准 4-20mA 输出信号，可直接接入控制系统，实现真空负压实时监测、泵组自动启停、泄漏预警等智能化监控。
凭借德国品质与本地生产的交付能力，ACC-6200 已在罗茨泵、干式螺杆泵，离心泵等各类真空泵机型中实现批量配套，帮助真空泵厂商提升整机可靠性的同时，优化供应交期与库存。
从实验室微型真空泵到工业级大型真空机组，威卡 ACC-6200 始终以精准测量守护每一道真空工艺，是真空泵行业值得信赖的压力测量合作伙伴。